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    當前位置：首頁產品中心發生器光電玻璃制造CVD氣源發生器

    CVD氣源發生器

    產品簡介

    CVD氣源發生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。

    更新時間：2025-05-13
    廠商性質：生產廠家
    訪問量：231
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    設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態前驅體經過蒸發段氣化，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。

    例

    PLC控制系統，Ethernet通訊，與CVD生產線主控系統通訊。


     


     

    含錫前驅體  

    ≤60  

    sccm  

    含氟前驅體  

    ≤20  

    sccm  

    H2O  

    ≤60  

    sccm  

    功率  

    7.5  

    kW  

     

     

     



    CVD氣源發生器  



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